Procesvoorbereiding van bipolaire geïntegreerde schakeling
Nov 27, 2019| Shenzhen Shenchuang Hi-tech Electronics Co., Ltd (SCHitec) is een hightech onderneming die gespecialiseerd is in de productie en verkoop van telefoonaccessoires. Onze belangrijkste producten zijn reisladers, autoladers, USB-kabels, powerbanks en andere digitale producten. Alle producten zijn veilig en betrouwbaar, met unieke stijlen. Producten passeren certificaten zoals CE, FCC, ROHS, UL, PSE, C-Tick, enz. , Als u hierin geïnteresseerd bent, kunt u rechtstreeks contact opnemen met ceo@schitec.com.
Blijf veilig opladen met SChitec
Procesvoorbereiding van bipolaire geïntegreerde schakeling
De afbeelding toont de processtroom van het voorbereiden van een bipolaire omvormer met geïntegreerde schakelingen met behulp van PN-junctie-isolatietechnologie.
De afbeelding bevat een NPN-transistor en een belastingsweerstand R. Het originele materiaal is een silicium monokristallijne staaf met een diameter van 75-150 mm gedoteerd met onzuiverheden van het P-type, en de soortelijke weerstand ρ=10 ohm · cm of zo. De processtroom is: eerst snijden, slijpen en polijsten (is een wafervoorbereidingsproces) om een cirkelvormige siliciumwafel met een dikte van ongeveer 300 tot 500 micron als substraat te bereiden, en vervolgens epitaxiale groei, oxidatie, fotolithografie en diffusie uit te voeren , Verdamping, drukbinding en reiniging van meerdere wafels, en ten slotte passivering van het oppervlak en afgewerkte verpakking.
De fabricage van een bipolaire chip met geïntegreerde schakelingen vereist vijf keer oxidatie, vijf keer fotolithografie op een dunne laag siliciumoxide (SiO2) en een patroonvenster voor diffusiedotering wordt geëtst. Tenslotte worden, na twee fotolithografieën, de metaal-aluminium verbindingsbedrading en het passivatievenster voor drukverbinding geëtst. Daarom zijn er 7 maskers voor de hele set bipolaire geïntegreerde schakelingen. Zelfs als het passivatieproces meestal achterwege wordt gelaten, zijn er zes fotolithografische stappen nodig en zijn er zes maskers nodig.